[기초반도체공정|2.2] #oxidation kinetics #Deal-Grove model #oxidation 공정의 수학적 모델 #모델링은 어렵지 않아

oxidation 과정을 수학적으로 기술한 모델인 Deal-Grove model 을 유도해보고, oxidation 공정에 미치는 여러 요인들을 이해해봅니다.