[기초반도체공정|2.1] #oxidation #gate insulator #SiO2 #dangling bond #forming gas annealing

oxidation 공정에 대해 이해해보고, SiO2 가 어떠한 장점을 가지고 있는지 알아봅니다. 그리고 Si/SiO2 에서 발생하는 dangling bond 에 대해서도 이해해봅니다.